メーカー名
真空デバイス
形式・型番
VE-2020
設置場所
微細形態系・試料室
担当者
中川(内線3772)
真空蒸着装置
コロジオン膜などの支持膜にたいして、機械的強度を増加させるために、カーボン粒子を
蒸着させ補強させることができる。