メーカー名 真空デバイス
形式・型番 VE-2020
設置場所 微細形態系・試料室
担当者 中川(内線3772)

真空蒸着装置

コロジオン膜などの支持膜にたいして、機械的強度を増加させるために、カーボン粒子を
蒸着させ補強させることができる。